天津华海清科机电科技有限公司成立于2013年,位于津南区海河科技园区。目前公司共有员工150人,其中硕士及以上学历36人,中级以上职称22人。主要产品为化学机械抛光设备,属于高端装备制造领域的高技术企业,所生产的化学机械抛光设备及其工艺技术可广泛应用于极大规模集成电路制造、封装、微机电系统制造、晶圆平坦化、基片制造等。
没有一蹴而就的成功
在公司正式成立后,华海清科人带着“成为全球行业领导者”的愿景,以高度的使命感和责任感,齐心协力、夜以继日地辛勤工作,创造着中国极大规模集成电路制造装备历史上的“华海清科速度”。
2014年,华海清科研制出国内首台12英寸“干进干出”CMP商业机型Universal-300,该机台2015年进入中芯国际,2016年实现销售。华海清科作为国内唯一具备研发和生产12英寸(300mm)CMP整机设备能力的单位,也填补了我国集成电路制造领域CMP设备技术的空白,打破了美国和日本的垄断,该项目也因此获评“2016年度清华产业十大创新项目”表彰。
2015年12月,Universal-300升级机型Universal-300 Plus研发成功;同年,公司被获批成立“院士专家工作站”和“高新技术企业”。
2016年6月,华海清科参加国家“十二五”科技创新成就展……
2017年,是华海清科实力与技术沉淀厚积薄发的一年。自2月起,华海清科第二台CMP工艺设备Universal-300 Plus机型进入中芯国际客户端,短短78天完成了装机、调试,生产过百片晶圆并且所有的产品性能完全符合中芯国际要求,创造了首台国产核心工艺设备在集成电路大生产线上线的最高效率,赢得中芯国际客户的高度认可,因此被授予“突出成就奖”,同年11月实现销售。
此外,华海清科还不断挑战技术的新高度,努力完善自身的产品线,从Si抛光到Oxide,到STI、Cu CMP,华海清科的产品在2017年赢得了业界广泛认可。
幸福都是奋斗出来的
“幸福都是奋斗出来的”是习近平总书记在今年新年贺词中提出来的,华海清科的自主研发之路诠释了其深刻内涵。华海清科每生产一种完全新类型的机台,团队都会反复调试工艺条件,找到新机台的最优工艺参数,然后进行一系列各种严格的测试,保证生产出来的产品各种性能和现有客户端的基准设备生产出来的产品性能完全一致。
在华海清科,无论是老员工亦或是新员工,完成日常工作后,大都愿意待在车间内,观察机台,查看机械结构、元器件型号,研究机台运行原理、功能,注意对比硬件的细节差异,争取让自己在每一次经验的积累、问题的处理中学习到的新知识新技能,都能为下一次解决问题提供方法思路和最优方案。
为了设计研发一个结构,避开国外的专利封锁,公司研发团队成员连续几个昼夜挑灯夜战、反复讨论设计修改,只为从几十个设计方案中仔细揣摩筛选,寻求最优结果。正是这种坚持自主创新,不走寻常路的方式,让华海清科在研发过程中获得了很多专利。截至目前,华海清科拥有CMP技术专利200余项,逐步建立了具有技术优势和自主知识产权的CMP设备及工艺技术体系。自2015年开始,所生产的抛光机陆续通过国内顶端客户的验证,已形成批量销售,2018年预计出厂15台,2016、2017连续两年实现盈利。在所有国产集成电路制造装备企业中,华海清科是最快上线,也是集成电路制造装备领域由高校完成整机装备技术产业化成功的唯一案例。
此外,国家政策的扶持也为华海清科的发展提供了前进的动力。华海清科是天津市唯一承担国家科技重大专项02专项任务的高技术企业,作为我国集成电路产业的典型代表,华海清科得到了津南区委、区政府的大力支持。
实现人生梦想的好“工匠”
在华海清科,通过组织季度之星、年度优秀个人评选表彰,在公司形成了一种爱岗敬业、勇于创新、甘于奉献的工作氛围。
华海清科人始终坚信,每个设备都有它的品质灵魂,对自己的产品精雕细琢、精益求精,不断改善,享受着它在双手中升华的过程,是种极大的成就感与满足感,正如我们国家所提倡的“劳模精神”“工匠精神”,它是一种始终追求卓越的精英风采精神、精益求精的品质精神,用户至上的服务精神,它是推动中国制造向中国创造转变的力量。
当前,集成电路产业是信息技术产业的核心,是支撑经济社会发展和保障国家安全的战略性、基础性和先导性产业,当前和今后一段时期是我国集成电路产业发展的重要战略机遇期和攻坚期。尤其是今年3月5日,李克强总理在《政府工作报告》上,提到了要“推动集成电路、第五代移动通信、飞机发动机、新能源汽车、新材料等产业发展”,并把集成电路排在实体经济第一位置。对于华海清科来说,既是机遇也是挑战,未来还有很长的路要走。
梦想只属于它的追寻者,奇迹创自无限次的坚守。华海清科将深入学习贯彻党的十九大精神,以敬业、专注、勤奋、坚持的工匠精神,聚精会神、心无旁骛地继续做好本职工作,成为新时代的见证者、开创者和建设者,坚持打造最优质的产品,为我国集成电路产业发展贡献力量!
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